دستگاه لایه نشانی یک تکنیک ته نشینی بخار فیزیکی ( PVD ) است که توسط آن یک پرتوی الکترونی شدید از یک رشته شکل گرفته و از طریق میدان های مغناطیسی و الکتریکی به منظور تحریک مواد منبع هدایت و آن را در یک محیط خلاء بخار می کند . در قسمتی از زمان همان طور که ماده ی منبع گرما داده می شود از طریق این انتقال انرژی اتم های سطحی آن انرژی کافی برای ترک سطح خواهند داشت . در این مرحله آن ها از محفظه ی خلاء عبور می کنند ، با انرژی حرارتی ( کمتر از یک eV ) ، و می توانند به منظور پوشاندن یک سوبسترای واقع شده در بالای ماده ی در حال تبخیر به کار گرفته شوند . میانگین فاصله ی کاری 300 میلی متر تا 1 متر است .

از آن جایی که انرژی حرارتی بسیار کم است ، فشار درون محفظه باید زیر نقطه ای باشد که مسیر آزاد به نسبت فاصله بین منبع پرتوی الکترونی و سوبسترا بیشتر است . میانگین مسیر آزاد فاصله ی متوسط یک اتم یا مولکول است که می تواند در محفظه ی خلاء سفر کند  قبل از این که با ذره ی دیگری برخورد کند و بنابراین تا درجه ای مسیر آن را آشفته سازد . این مقدار معمولا در حدود 3.0 x 10-4 تور ( Torr ) یا کمتر است .

منابع تبخیر پرتوی الکترونی دستگاه لایه نشانی

تک جیبی

یک بلوک مسی سرد شده با آب سوراخ می شود تا به شکل یک مخروط معکوس بریده شده شکل یک ” جیب ” را داشته باشد . بعضی از موارد درون این جیب یا در یک بوته ی چینی قرار داده می شوند که بخش خارجی آن مستقیما داخل جیب جا می گیرد . درون این بوته چینی یک جیب کوچکتر و مشابه است .

یک ساختار مغناطیسی حاوی یک آهن ربای دائمی و دو الحاقیه ی قطبی در اطراف بلوک چنان قرار گرفته اند که خطوط میدان آن در موازات با هر طرف بلوک باشد .

جیب چرخشی ( جیب روتاری )

منبع پرتوی الکترون جیب چرخشی ( جیب روتاری ) تمامی بخش های واحد تک جیبی را دارد به استثنای این که بلوک مسی سرد شده با آب ضرورتا یک برج متحرک از چندین جیب است که هر کدام از آن ها را می توان در یک موقعیت قرار داد . با این طراحی یک تعداد مواد متفاوت را می توان به صورت پی در پی از یک ساختار sweep coil /  آهن ربا / ساطع کننده بخار کرد . مشخص است که این نوع طراحی شامل حفاظ های بیشتر به منظور جلوگیری ای آلودگی مقطعی مواد منبع درون جیب ها می شود . جیبی که در ” موقعیت ” قرار دارد از طریق یک ” هدایت کننده ” چرخشی ( روتاری ) هدایت شده با موتور انتخاب می شود .

جیب خطی

یک منبع پرتوی الکترون جیب خطی مشابه با منبع جیب چرخشی است به استثنای این که جیب های آن در یک ردیف قرار گرفته و در موقعیت مورد نظر به شکل خطی در ساختار متداول sweep coil /  آهن ربا / ساطع کننده قرار می گیرند .

قیمت  دستگاه لایه نشانی ؛

برای اطلاع از قیمت  دستگاه لایه نشانی می توانید درخواست خود را از طریق فرم زیر ارسال نمایید تا شرکت عرضه کنندۀ این محصول با شما تماس حاصل نمایند

◄ درخواست خرید خود را در فرم زیر برای ما ارسال کنید ►


در فرم زیر نام  ، ایمیل و شماره تماس خود همراه با نام محصول مورد نظرتان را ثبت کنید تا درخواست شما را به فروشندگان و ارائه کنندگان این محصول ارسال کنیم

 

نام و نام خانودادگی شما (الزامی)

آدرس ایمیل شما (الزامی)

شماره تماس شما (الزامی)

نام محصول مورد نظرتان (الزامی)

پیام شما

 

دیدگاه ها بسته شده است